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西安微電子技術(shù)研究所清潔生產(chǎn)審核項目

西安微電子技術(shù)研究所于2018年6月自愿開展清潔生產(chǎn)審核工作,在行業(yè)專家及咨詢?nèi)藛T的指導(dǎo)下,于2019年9月完成清潔生產(chǎn)審核工作,2019年10月31日順利通過由西安市生態(tài)環(huán)境局組織的清潔生產(chǎn)審核績效評估會。

本輪清潔生產(chǎn)審核共篩選出可行的清潔生產(chǎn)方案29項,其中,無/低費方案23項,共投資186.15萬元,截止目前為止全部實施完畢,產(chǎn)生經(jīng)濟(jì)效益247.25萬元;中/高費方案6項,共投資1160萬元,截止目前為止全部實施完畢,共產(chǎn)生經(jīng)濟(jì)效益38萬元,同時所有方案實施后,所有已實施方案共計投資1346.15萬元,節(jié)約成本285.25萬元/a,年節(jié)約用電12.87萬kwh,節(jié)約用水39002t,年節(jié)約過濾器540塊,年減少氯化氫、硫酸霧等酸性氣體排放10kg,年節(jié)約氮氣126t,年節(jié)約硅片3000片,節(jié)約SOG30瓶,年減少廢切削液排放750L,年減少一般固廢產(chǎn)生2.5t,減少SO2排放0.28t/a、減少NOx排放4.3t/a,減少化學(xué)品揮發(fā)15kg、年減少NF3、CF4、CHF3等PFC尾氣排放120kg,減少COD排放140kg/a,減少氨氮排放840kg/a。取得了一定的環(huán)境效益和經(jīng)濟(jì)效益。

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